视频介绍：URE-2000S系列双面光刻机

该机器的主要优势在于:

1.操作：十分方便

（1）抽拉式安放基片，同一块掩模多次曝，无须上下掩模。

（2）触摸开关操作，手感好，参数设置方便。

（3）调平、分离对准间隙、消除曝光间隙、吸片、吸版、曝光等自动完成，自动化程度很高。

（4）软件界面友好易用，可同时显示掩模和硅片上的对准标记。高精度双面对准系统可适应不同大小的曝光基片、甚至碎片，对准过程均在对准程序的辅助下完成。

（5）数字设定曝光时间，倒计时曝光，曝光量可精确控制。

2.性能：非常优越

（1）采用专利技术—积木错位蝇眼透镜消衍射，实用分辨力可达0.8-1.2微米；

（2）采用精密双侧V型滚动导轨、精密对准调节手轮、大倍率显微镜，消除曝光间隙采用精密密排钢球轴系导向，对准漂移非常小，对准精度可达0.8微米。

（3）积木错位蝇眼透镜（79个），照明聚光角小(光源平行性好)，照明均匀性好，照明面积为100mmX100mm(根据用户需要可改为150mmX150mm,国内同类面积一般为Ф100mm或更低);照明均匀性在Ф100范围可达±3-4%（国内同类一般低于±5%）。

（4）光源质量好—保证曝光图形方、陡、直。通过最佳光学设计、光学镀膜，曝光成分为纯净的365nm，红外和可见成分被彻底过滤，曝光面为冷光（在环境温度为22度，曝光面温度不超过30度），肉眼观察为暗蓝紫光，紫外探测能量很高；国内同类由于采用常规玻璃并由于不掌握特殊紫外镀膜技术曝光面为热光（在环境温度为22度，曝光面温度超过30度），且紫外比重很小，肉眼观察为白光，紫外探测能量很低。国内照明面温度往往高于40度.

（5）可靠性很高，关键器件采用最好进口件，如气动元件主要采用日本SMC，汞灯采用德国欧斯朗。

（6）工艺适应性非常好，可适应的片子范围可达Ф10-Ф100mm(甚至Ф10mm—150mmX150mm)的各种规则和不规则片,厚度可适应0.1mm—6mm（0.1mm—15mm）。掩模可适应2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸（甚至6英寸、7英寸），厚度可适应1mm-8mm。

（7）光功率强，照明面积为100mmX100mm，曝光（纯365nm）光功率可达到20mW, 而曝光面温度小于30度。而国内同类一般在Ф100mm曝光面积一般在15mW以下，而曝光面温度大于30度。

（8）汞灯触发容易，更换方便：由于采用的是高性能进口灯、且电源性能好所以点灯容易；因为采用积木错位蝇眼透镜，均匀性和消衍射效果不受灯位置限制。

（9）具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能；

（10）自动分离对准间隙和消除曝光间隙，间隙分离可达500μm，可数字调节曝光间隙；

（11）高倍率双目双视场专用显微镜和21英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并可提供USB输出；既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果方便存储；国内其它厂家主要采用CCD镜头，不能保证对准精度和对准视场。

（12）电机机构、弹性元件和传感器保证接触曝光压力合适且重复性好；国内同类一般采用气缸或手轮手动调节，不能保证重复性，并很容易伤掩模和基片。

（13）对准完成，自动消除曝光间隙，无横向漂移且可通过监视器观察；

（14）快门可以单独开启，也可以数字设定自动倒计时曝光（设定范围0.1s-9999s）；

（15）采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度；

（16）设备外形美观，性能非常可靠；

（17）上下片、版十分方便，自动化程度很高，操作简便（单次曝光按一键即可完成操作，对准曝光按两键即可完成）。

（18）采用三爪和球气浮同时找平，无论大片、小片调平精度均高；国内一般只采用三爪或者球碗调平。

（19）整机中采用全防锈材料（不锈钢、航空超硬铝等），保证终身防锈，国内其它采用大量铸铁和钢，使用一段时间后很容易生锈。