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产品名称：URE-2000/17型紫外光刻机 |
主要技术指标： |
| 报光绿地面积：100mm×100mm |
| 辩别力：1.7μm（胶厚2μm的正胶）； |
| 指向精密度较：±1μm |
| 最大化胶厚： |
| 掩模大小:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch |
| 样片尺寸图：直经Ф15mm--Ф100mm、强度0.1mm--6mm(可突出为15mm)； |
| 照明工程匀性：±6%（Ф100mm 范围之内） |
| 汞灯效率：200W（直流电） |
| 掩模比于样片行动路程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6° |
技术特点： |
| 适用双目双视场显微镜观察指向；球碗调平,单支机设定,摸打开,操作使用非常方便、耐用性强性强。 |
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