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产品名称：URE-2000/35型紫外光刻机

主要技术指标：

报光平数：100mm×100mm
辨别力：1um（胶厚1.5μm的正胶）
摆正gps精度：±0.8μm
最主要胶厚：300μm（SU8胶）
掩模尺码:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
样片的尺寸：尺寸Ф15mm--Ф100mm、高度0.1mm--6mm(可扩容为15mm)；
灯具照明不光滑性：±4%（Ф100mm 范畴）
汞灯电功率：350W（直流电源）
掩模对比于样片运行日程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

技术特点：
创新技术采取三柔性fpc线路板重心改变高高精密度自動调平；高压气使用自動揭晓度；样片上升下降、调平、使用、揭晓度、重置改变自動化调控；采取积木错乱蝇眼透镜改变高不光滑灯具；可间断性选用拆分时候；采取双目双视场电子显微镜改变高对齐高精密度。裸机都具有特性可靠性、作业简便、自動化层度高的亮点。
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