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UVSTEP-6步进投影光刻机

产品名称:UVSTEP-6步进投影光刻机

主要技术指标:

  曝光度占地面积:15mmX15mm
  判断力:1μm
  暴光光谱:365nm
  明显胶厚:
  掩模大小:4 5寸大、55寸大
  样片厚度:6 屏幕尺寸
  镗孔台活动定位系统精确:±0.65μm
  套刻精确:0.5-1μm
  掩模比于样片锻炼旅行路线:

技术特点:

观于南宫ng28 类产品体现 功能可以支持 2017最新焦点资讯 玩家应用案例 用户发表评论

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