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产品名称：URE-2000S/A型紫外光刻机

主要技术指标：

吹捧总面积：150mm×150mm

识别力：1μm（胶厚1.5 μm的正胶）

挡住表面粗糙度：±3μm（正反）

极限胶厚：500μm（SU8胶）

掩模寸尺:3inch、4 inch、5 inch、7 inch

样片尺寸图：直径不低于Ф30mm--Ф150mm 高度0.1mm--6mm(可优化为15mm)

户外照明透亮性：±3.5%Ф100mm) ±5.5%(Ф150mm)

汞灯效率：1000W（直流变压器）

掩模相应于样片运作旅行路线：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

技术特点：

机用户分为南宫ng28 国家第一次的CCD图相正方体紧贴技能，单暴光头前面暴光改变单双面紧贴的总体目标框架设计技能。分为贴近生活的高的精密机械度、多随心所欲度掩模—样片精密机械紧贴产品工件台框架框架设计，掩模—样片紧贴环节抽象概念，套刻紧贴速度更快快、的精密机械性好。掩样例与样片的摆放在分为推拉式基本准则uv、机械泵过滤式，进行不便。

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