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产品名称：DS-2000/14G型光刻机

主要技术指标：

单笔爆光空间：1.4mm×1mm
主要曝料基片：100mm ×100mm
指向精准度：±0.8μm（半定时指向）
最大化胶厚：300μm（SU8胶）
自动式逐场对焦；
判断力：1μm；
X、Y、Z、θ四随心所欲度电动伸缩位移台
X、Y直线运动连续地位定位精度：0.65μm（3σ）
Z向运功定位精度：1μm

技术特点：
这手机可分为分光光度计光光、深分光光度计光光、恐怕更短光波长的极分光光度计光光身为面光源，用DMD数字8微镜阵列带替传统文化掩模版网站，分为积木 移位蝇眼透镜构建高均匀的灯光，并搭载了双目双视电子显微镜和CCD图相挡住系统的（可同時选用），拼合才能得到大空间平面图形，爆光选用分为微机设定，页面介面友善，进行简便方法。
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